没有什么比客户的痛点,更让我们使劲投入去攻克。为了不断完善产品/方案,积累行业Know-how,我们一直非常重视与客户之间的沟通。
近期,我们回访了一位半导体工厂的设备主管。他反馈,FDC系统上线后,确实通过优化建模提升了设备异常侦测的准确性,实现了Cost down。但随着投入量产后,该设备主管不但要关注设备机况,还要解决产能问题。在这个过程中,他遇到了很多无法被侦测到的异常情况:
设备或系统无报警产生,但生产已经中断。比如:机台突然断电,无法鸣笛报警通知各个IT系统,长时间无人发现导致产品报废。
MES已派工,操作员忘记了将产品放到机台上按Load,导致生产中断、OEE loss。
Recipe/EC变更了,无法第一时间察觉异常。比如:工程师Recipe修改不合理,导致产品在机台某位置比以往停留时间长、被氧化报废。
设备Uptime高,但是产出少,找不到分析途径。
这位设备主管的“痛苦”,我们感同身受。在已有FDC系统的情况下,如何对生产流程进行无死角的监控?
我们引入了从时间角度进行异常侦测的系统——THD设备中断侦测系统(以下简称THD系统)。通过设置侦测时间、建立智能控制、自定义异常报警等方式,帮助用户在许多复杂问题上打破了僵局,并成功识别到了设备自身难以发现的问题,从而提升了设备效率(OEE)。
智能化侦测三件套,助力设备智能化管理
除了THD设备中断侦测系统外,格创东智设备智能化监控体系还包括:AMS设备报警管理系统、FDC设备故障检测系统。它们从设备功能的实现、性能的展示、流程的稳定性三个角度进行设备监控,实现全方面的异常侦测报警。
1、AMS设备报警管理系统:收集主设备及附属设备自身判定的异常报警,识别关键信息,通过一般事件任务和升级事件任务分别作出处理,实现异常处理的及时化和精准化。
2、FDC设备故障检测系统:通过多种分类规则和统计方式分析设备的传感数据,实现自定义的设备预警和工艺参数监测。
3、THD设备中断侦测系统:通过时间维度判定设备的运行工序是否异常(包括人为异常、生产流程异常、工艺节拍异常等)。
在这里,值得一提的是格创东智的FDC设备故障检测系统。格创东智率先将W*功能引入FDC系统,打破了设备的模块壁垒、规则壁垒、OCAP壁垒,使得FDC系统更加灵活和便捷。自动模型导入、EQP Match、EEA等功能广受用户好评,让FDC系统成为格创东智设备智能监控体系中的最重要的一环。它可以为用户解决以下难题:
设备和工艺异常缺少侦测手段;
Tool Match力不从心;
Cost down项目上缺少数据支持(如通过FDC数据延长Parts Lifetime);
每个Pump还在用手柄查看电压/功率/温度等参数,没有集中化的监控管理;
原FDC系统运行缓慢,希望得到更多灵活性的功能,精确报警和减少工作量。
格创东智设备智能化管理应用实例
为满足不同情形的设备异常侦测,格创东智从设备的硬件特性、工艺路径、生产阶段等角度出发,结合业务场景和经验,运用智能化系统实现监测机制的全面化。让我们一起来看一个客户现场的成功实践。
某前道Fab厂,整厂设备50+Type,含LITHO,ETCH,CMP,IMP,TF,FUR 等设备类型。设备总量1000+,3000+chamber,每台设备工艺参数100+,工艺过程监控模型量100万+,工艺参数频率1HZ~10HZ。
客户痛点:
1、建厂初期导入的是外资FDC系统,定制化费用高昂,急需新的FDC系统针对其业务提供客制化功能。
2、用户FDC系统运用经验不足,供应商配合度低(仅提供系统部署,不提供应用经验),导致FDC系统效益低。
方案及价值:
1、原外资FDC系统建模数据自动迁移到格创东智FDC系统,实现无感切换。
2、提供客制化报表、OA签核系统、闭环管理OCAP,帮助客户优化FDC管理。
3、提供FDC业务端实施经验和建模方案,每月一次系统效益提升交流和行业案例分享,大幅提升FDC效益。比如Logic引擎帮助客户解决了很多复杂建模问题,减少某机型误报警20%;为用户提供了大量易用性功能,建模效率提升50%。
4、提供Pump等附属系统的FDC系统侦测,实现了附属设备异常的提前预警,多次避免Pump异常导致的主设备的紧急宕机和污染。
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